白光干涉相关论文
白光干涉法已经被广泛用于MEMS微传感器、光学透镜和透明薄膜等超精密器件的表面特征检测当中。随着超精密制造及复杂微纳器件技术......
白光干涉测量技术具有精度高和非接触式测量的优点,是超精密加工领域中的一项重要测量手段。针对白光干涉测量技术容易受环境振动影......
对于具有动态特性的MEMS陀螺仪表面形貌的检测,采用传统接触式检测方式难以实现。本文设计一款无限远场校正的20× Mirau型白光干涉......
谐波减速器具有传动平稳、传动精度和传动效率高、传动比范围大、承载能力高、结构简单、体积小、质量轻等优点,被广泛应用于航空航......
随着现代科技的发展和精密加工元件的大量使用,对加工元件表面的粗糙度等面形参数检测精度提出了更高的要求,为了适应工业化生产现......
数据流量的爆炸式增长对先进光纤通信网络的质量提出了更高的要求。对光纤通信网络中的光学波导器件进行高精度地传感测试变得尤为......
拍长和折射率是表征保偏光纤产品性能的重要指标,随着保偏光纤在光纤通信和光纤传感等领域的广泛应用,对拍长和折射率参数的准确测......
干涉测量技术被广泛应用于纳米级的微观形貌测量,为了提高干涉测量的精度和灵敏度,提出一种基于白光干涉和激光二次干涉相结合的高......
随着光纤传感技术的飞速发展,不断涌现出新的器件与技术,基于光纤白光干涉技术的分布式传感技术在结构健康智能监测领域更广泛的应......
在高能激光应用领域,光学元件的抗激光损伤阈值大小及损伤识别已引起高度关注,研究者致力于通过对激光作用光学薄膜元件后造成的损......
金刚石砂轮在精密和超精密加工中具有重要的作用,其质量的好坏直接影响产品质量和性能。金刚石砂轮质量中最关键的因素之一是砂轮磨......
本文针对恶劣环境下高温测量的需要,研究一种新型光纤高温传感系统,该系统基于白光偏振干涉技术,以蓝宝石晶体为测温材料来进行温度测......
本文介绍了用迈克尔逊干涉仪调节白光干涉的技巧,并建议了一种新的调节方法。我们认为先把激光干涉条纹调粗很重要,非常有利于观察......
为了减小白光相移干涉法测量物体微观形貌时产生的误差,对极值法的搜索路径进行优化后与Carré相移算法相结合,提出一种基于白光干涉......
在微纳器件测试与计量标定领域, 很多问题都涉及到对微观台阶的高精度测量。白光干涉垂直扫描法具有非接触、精度高、速度快等优点......
微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形......
本文提出和研究了白光点源照明下的双光栅衍射干涉效应,报道了白光照明下剪切干涉的“消色效应”,给出了完整的菲涅耳线性标量衍射......
当光源为高斯型光谱,非平衡光路中考虑介质色散时求出双光束干涉的光强度解析解。分析了干涉条纹可见度和可见范围与介质的厚度、色......
提出一种垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟方法。该方法考虑到白光光源光谱分布及垂直扫描干涉系统对白光干涉信号的影响, 通......
提出了一种通过白光干涉仪来检测陶瓷插芯中光纤是否存在断点的方法。通过使用白光干涉仪使陶瓷端面和插芯内光纤断点处两个表面的......
在前人工作的基础上,分析了干涉探测的基本工作原理;采用波动光学理论、平面波近似和非相干叠加等方法对干涉探测技术进行了理论分析......
随着薄膜器件在光通信、航空航天、生物医学、新能源等前沿领域的广泛应用,薄膜技术的相关研究也日益深入。薄膜的厚度参数直接影......
空间频域算法作为白光干涉测量的重要算法之一,被广泛应用于微纳结构表面形貌测量领域.然而,传统空间频域算法中存在着由被测样品......
针对复杂电磁环境下风洞实验中绕流阻力测量和飞行器空速监测的需求,利用自主研制的基于白光干涉测量技术的压差式光纤气流传感系......
实验基于迈克尔逊干涉仪测量透明介质折射率的两种方法.将待测透明介质插入迈克尔逊干涉仪光路中,通过白光干涉的彩色条纹测出光程......
光纤陀螺寄生偏振耦合测试仪(DPCA)是一种基于白光干涉的测量光纤陀螺保偏光纤绕组中寄生偏振耦合点的系统。在光纤陀螺光纤环中发生......
研究一种高精度单模光纤偏振态模式耦合干涉测量方法,运用短相干长度光源,克服了传统的强度型测量光纤及光纤无源器件方法的缺点,该系......
对使用迈克耳孙干涉仪白光干涉测量透明介质折射率实验中出现的3种异常现象的原因进行了分析。在考虑介质色散并对人视觉函数作适......
理论分析了偏振模式耦合的原理,给出了基于白光干涉的偏振耦合检测方法。通过步进电机控制迈克耳孙干涉仪扫描臂的反射镜移动,改变......
为精确测量超快激光色散补偿薄膜的群延迟色散,提出了一种基于窗口傅里叶变换和样条插值去噪算法的新型白光干涉测量方案。计算机......
对测量群折射率的白光干涉和光纤迈克耳孙(Michelson)干涉仪技术进行了改进.采用样品夹片和样品与探测光纤端面接触的方法,可以使......
白光干涉测量系统(white-light interference system,WLIS)广泛用于微纳米表面形貌的精密测量,其测量不确定度评定是研究白光干涉......
现代社会生产制造日益趋向于纳米尺度,所以对传感器的精度和性能要求也随之提高。以手机芯片制造工艺为例,下一代芯片的制造工艺将......
拍长是表征保偏光纤产品性能的重要指标,近年来随着保偏光纤在光纤通信和光纤传感等领域的广泛应用,对拍长的高精度测量十分重要。......
通过对激光作用薄膜元件后的损伤过程和图像损伤特征进行分析与研究,借助光学薄膜损伤表面三维微观形貌的重构,揭示薄膜元件损伤机......
核电站混凝土安全壳是预防发生核事故破坏的关键,而其中预应力锚索状态是反应其强度的直接度量。经验表明:核安全壳锚索预应力损失......
白光干涉仪作为一种具有非接触,高精度,高检测速度等优点的测量手段近年来被广泛应用于目标物厚度测量及表面轮廓扫描上。随着干涉......
白光扫描干涉测量技术是一种重要的三维表面形貌测量技术,由于其非接触、面扫描、高精度、无相位模糊等特性,已广泛运用于微观表面......
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具......
为实现在表面等离子体光刻机中对掩模与基片间的间隙测量,提出一种基于白光干涉测量技术的掩模-基片间隙测量方法,并设计了以ZYNQ......
基于白光干涉原理,通过麦克尔逊干涉仪的光程补偿作用,检测保偏光纤空间分布寄生偏振耦 合强度和耦合点位置。经数据采样时域理论......
为了实现一般性样品的自由电子激光三维成像,搭建了一套用于上海软X射线自由电子激光装置的双光束单脉冲三维成像装置.计划利用可......